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    北方華創喜獲兩項北京市科學技術獎

    2023-11-17

      日前,《北京市人民政府關于2022年度北京市科學技術獎勵的決定》正式公布,經市科學技術獎勵評審委員會評審、審定,市政府批準授予北方華創董事長趙晉榮北京市突出貢獻中關村獎,授予北方華創“硅薄膜外延設備研發及產業化”項目北京市科學技術進步獎一等獎。

    北方華創董事長趙晉榮北京市突出貢獻中關村獎

      突出貢獻中關村獎是北京市科學技術的最高獎[1],旨在獎勵在科學研究中取得重大發現、推動科學發展和社會進步或在關鍵核心技術研發中取得重大突破、創造巨大經濟社會效益或生態環境效益的個人。


      北方華創董事長趙晉榮是中國集成電路裝備領域專家,深耕集成電路產業近40年。他帶領北方華創團隊成功開發了等離子體刻蝕機多代機型并實現產業化,同時組織多項集成電路裝備項目研制,以創新驅動發展,逐步完善產業鏈建設,不斷提升國內集成電路產業綜合競爭力,持續倡導產業上下游密切合作、互利共贏、價值共享。


      此次獲得北京市突出貢獻中關村獎,是對北方華創團隊在高端集成電路裝備領域持續創新能力和對產業發展卓越貢獻的充分肯定。未來,北方華創將繼續攻堅克難,再接再厲,勇攀高峰,再創佳績。


    [1]“突出貢獻中關村獎是北京市科學技術的最高獎”引用自https://www.beijing.gov.cn/zhengce/zcjd/202212/t20221230_2887402.html


    “硅薄膜外延設備研發及產業化”項目北京市科學技術進步獎一等獎

      外延工藝是集成電路芯片制造中必不可少的核心工藝。北方華創“硅薄膜外延設備研發及產業化”項目歷經多年自主研發,取得了多項創新性成果。設備突破了硅外延工藝腔室多路多區平流氣體分配技術、多區紅外加熱模塊和控溫技術、“EPI視覺”高溫可視化監控技術、高潔凈腔室控制技術等四大關鍵技術,具有穩定性高,調控能力強,應用范圍廣等特點,各項指標均達到業界先進水平。設備已廣泛應用在邏輯芯片、功率器件等領域,憑借優秀的工藝性能和穩定性獲得客戶的一致認可,目前已累計銷售超過1000腔,最終獲得北京市科學技術進步獎一等獎。


      未來,北方華創將持續深耕半導體基礎產品領域,推動產業進步,創造無限可能!


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