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    半導體裝備

    氣體測量控制

    質量流量計(Mass Flow Meter, MFM)和質量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)是高精度的自動測量和控制裝置,用于各種流體(含蒸汽)質量流量的測量和控制。MFM精密地測量流體的質量流量,MFC精密地控制流體的質量流量的同時,還可以累計測量流體的流量。北方華創依據工業領域客戶新的零部件產品需求進行探索研究,深挖技術,創新產品,不斷拓寬產品線,形成了流量測控、壓力測控、氣路系統等系列氣體測量控制產品,為半導體、太陽能、燃料電池、真空鍍膜、分析儀器等行業客戶提供定制化零部件綜合解決方案及產品服務。

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