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    半導體裝備

    紫外線固化爐

    紫外線固化(UV Curing)是光化學反應,與傳統的干燥固化過程原理不同,傳統的干燥固化一般借助于涂敷材料中溶劑的揮發而形成硬化,而紫外固化則無溶劑揮發。紫外線固化是輻射固化的一種,是利用紫外線UV在極短時間內產生輻射聚合、輻射交聯等光化學反應,迅速將低分子量物質轉變成高分子量產物的化學過程,體系中不含溶劑或含極少量溶劑,輻照后液膜幾乎100%固化,因而VOC(揮發性有機化合物)排放量很低。自2000年以來,這一新型固化技術在國際上得到飛速發展,其產品在許多行業都得到廣泛應用。

    北方華創的紫外線固化爐(UV Cure)設備主要用于TFT-LCD 工藝中邊框膠的紫外線固化,設備外形緊湊,能對應各世代ODF產線布局,承載Panel的基臺能精確平動和轉動,UV照射光強、累積光量均勻性好,并能精確閉環控制。

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