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    真空裝備

    首頁 產品&服務 真空裝備 物理氣相沉積工藝設備

    物理氣相沉積工藝設備

      物理氣相沉積技術是指在真空條件下,采用物理方法,將材料源表面轉化成原子、分子或部分電離成離子,并通過低壓氣體(或等離子體)過程,在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術。PVD設備使得鍍膜厚度及均勻性可控,且制備的薄膜致密性好、粘結力強及純凈度高,現已廣泛應用于電子、光學、機械、建筑、輕工、冶金、材料等各類工業領域,可制備具有耐磨、耐腐蝕、導電、絕緣、光導、壓電、磁性、潤滑、超導等特性的膜層,該技術已經成為制備各種功能薄膜的重要手段。北方華創憑借在大尺寸平面和旋轉陰極設計、磁場仿真開發、平衡與非平衡磁控濺射、陰極電弧源、離子源表面刻蝕和輔助沉積等多項關鍵技術的積累創新,現已有連續式磁控鍍膜裝備、柔性基材卷繞鍍膜裝備、單體復合型真空鍍膜設備。產品覆蓋鋰電復合集流體、磁性材料稀土擴滲層、柔性透明導電層以及醫療器械和汽車零部件等工件表面功能層的制備,可為鋰電、光伏、氫能等新能源行業,以及醫療、消費器件、汽車零部件等其他工業領域,提供真空鍍膜裝備及技術開發服務。

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