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    真空裝備

    石墨純化設備

      石墨純化是在超高溫狀態下通入鹵素氣體(氯氣或鹵代烴)與石墨材料進行反應,使石墨中有價金屬轉變成熔沸點較低的氣相或凝聚相的氯化物及絡合物,最終與其它組分分離而逸出。石墨純化后其純度可達99.999%以上,可滿足半導體行業要求,已被廣泛應用于半導體晶體生長、外延、離子注入、等離子蝕刻等制造工藝中。為滿足國內半導體、光伏單晶、新能源等領域對高純石墨需求,北方華創自主研發了多款石墨純化爐,產品涵蓋了常用溫區尺寸及進氣方式,多種組合可以滿足不同領域客戶多樣性的需求。

    碳材

    Carbon material

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