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    半導體裝備

    功率半導體

      采用IGBT及Super Junction等結構制造的功率器件,具有高速、低損耗的特點,在風電、光伏、智能電網、有軌交通、汽車電子等新興產業上得到廣泛應用。   

      在功率半導體領域,北方華創自主研發的刻蝕機、物理氣相沉積設備、立式爐設備、清洗機、單/ 多片式硅外延設備以及臥式氧化/ 擴散爐已獲得多家功率器件客戶的認可和批量采購。

    • 等離子刻蝕設備
    • 物理氣相沉積設備
    • 化學氣相沉積設備
    • 氧化擴散設備
    • 濕法設備
    • 氣體測量控制
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